pvd涂層設備成膜不均勻的因素

pvd涂層設備由于要保持工件必須能夠自公轉的特性，工件在不同真空室之間的傳遞技術是制造立體分散件多室連續涂層設備的主要難點。目前的傳送機構，主要是在常規的、廣泛應用于板帶表面鍍膜的、無工件自轉機構基礎上發展起來的鏈條隧道式傳送機構。

鏈條隧道式連續傳送機構，是在傳統板帶表面涂層設備中的傳遞機構基礎上發展起來的，對于真空鍍膜裝備制造企業來說，生產沒有任何困難，市場上已有的立體分散件連續涂層設備采用的均是此類機型，國內有數家企業為此還申請專利。為鏈條隧道式傳送機構結構設計圖，其傳遞過程為，公轉盤A帶動柔性金屬材料鋼帶B公轉，自轉軸的軸套D焊接在柔性鋼帶上，以機械機構固定在公轉盤上，同時用有內齒的固定圓盤F齒合自轉軸C上的齒輪E，以保證其自轉。柔性金屬材料鋼帶B在G處能夠自由斷開，并做直線運動從內齒固定圓盤F的H開口處進入下一個真空鍍膜室的工件架上。

鏈條隧道式傳遞機構的缺陷是：

1、真空室之間的連接閥門需要較大尺寸，這樣，不同真空室之間的氣氛容易互串，進而降低鍍膜質量、成品率等。

2、需要較高的設計精度、加工水平，由于是柔性結構，容易出現匹配不精確，導致傳送出現故障。真空涂層設備往復步進齒條推桿式傳送機其傳遞過程為，固定在鍍膜室頂上或底盤上（與公轉盤同一側）、并可以往復運動的齒輪G、齒條H－推桿機構，順序實現自轉工件桿Am從真空室M的公轉盤Jm向真空室N的公轉盤Jn的傳遞。齒輪、齒條所用的動力是通過軸密封在真空室外的電機來實現。為使自轉工件桿脫離公轉盤進入下一個公轉盤，在公轉盤與自轉軸之間采用開放式連接，同時在固定于鍍膜室內并維持自轉的內齒輪盤相應位置開口，實現自轉工件桿從鍍膜室M傳送到下一個鍍膜室N。

與鏈條式傳送機構相比，該機構為剛性傳送，不存在齒合不精確問題同時，由于需要的過渡空間小，可以節約真空室之間閥門的開關時間、進一步減少不同真空室之間的氣氛互串。因而極大的提高了鍍膜工藝穩定可靠性、成品率，降低能耗和成本等。

真空涂層設備成膜不均

隨著鍍膜技術的發展，各類真空涂層設備也逐漸出現，不管是哪種真空涂層設備，薄膜的均勻性都會受到一些因素的影響?，F在，我們就以磁濺射真空涂層設備來分析成膜不均勻的因素。

涂層設備抽氣不均會影響鍍膜均勻性?；蓛艉苤匾?。真空鍍膜前要將基片表面認真清潔干凈，達到工件去油、去污和脫水的目的?；灞砻嫖廴緩牧慵诩庸?，運輸等過程中附著的各種各樣的灰塵、油脂、拋光膏、汗漬等，在潮濕環境下，基片表面易氧化，形成氧化膜吸附氣體。對于這些污物，都能用去油或化學方法清洗干凈。干凈的基片不要直接放在外面，需要用封閉容器存放，減少沾污。鍍膜室內也是會積灰的，所以要清洗鍍膜室內，烘烤除氣，并將機器放置在干凈的環境里。注意擴散泵返油。鍍膜的原材料有很多，如樹脂、硅酮、硅鹽酸、聚合物等，輔料、配方的比列有所不同，薄膜也不同。

以上就是真空涂層設備成膜不均勻的因素。

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