PVD V201-12硬質涂層設備主要技術參數與配置:
1、真空室內尺寸:正八邊形結構(對邊距離:1250 mm)爐內高度:1260mm;
2、可移出式轉架:無需定位,可任意位置移出,傳動可靠(專利技術);
3、陰極電?。害?60mm雙驅動動態磁控陰極電弧*12;
4、IET離子刻蝕源:1套。
技術特點:
該設備在PVD V201硬質涂層設備(12?。┑幕A上進行升級,陰極電弧的數量升級為12個(3組)??芍苽涓嗄は?。多種工藝選擇,可滿足用戶的各種需求。PVD V201的設計讓現場維護和保養十分方便,系統可以從兩側打開,所有系統部件都伸手可及。
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