1180系列類金剛石涂層設備主要技術參數 | ||
序號 | 參數項 | 數據 |
1 | 可安裝靶材數量 | MAX可配6個通用接口, 可按需配置平面靶及離子源數量 |
2 | 有效鍍膜區 | 直徑780mm~920mm可選,基礎高度700mm, 其它高度按需提供,MAX可達2000mm |
3 | 轉盤承重 | 800kg(基礎款),MAX可達1500kg |
4 | MAX加熱溫度 | 350°C |
5 | 涂層周期 | 8-16小時/爐 |
6 | 技術特點 | 1.非平衡閉合磁控陰極技術(UBM) 2.智能擋板(SS) 3.陽極層離子源 |
7 | 應用范圍 | 1180系列涂層設備能夠處理的涂層,如DLC、GLC、WC/C、濺射CrN以及所有這些涂層的組合。 |
遼寧省沈陽市沈北新區七星大街63-71號
024-25359076
vleadvac@126.com