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V201硬質涂層設備主要技術參數表序號參數項V201-8V201-9V201-121可安裝靶材數量2組不同的靶材(4支為一組)3組不同的靶材(3支為一組)3組不同的靶材(4支為一組)2有效鍍膜區φ700*800mmφ700*600mmφ70